摘要：证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司(688012)新获得一项发明专利授权，专利名为“零部件、等离子体反应装置及零部件加工方法”，专利申请号为CN202010361663.1,授权日为2024年4月12日。专利摘要：本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种零部件、等离子体反应装置及零是什么。
...证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司(688012)新获得一项发明专利授权，专利名为“零部件、等离子体反应装置及零部件加工方法”，专利申请号为CN202010361663.1,授权日为2024年4月12日。专利摘要：本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种零部件、等离子体反应装置及零是什么。
金融界2024年4月11日消息，据国家知识产权局公告，三星电子株式会社取得一项名为“等离子体沉积方法和等离子体沉积设备“授权公告号CN110880447B,申请日期为2019年6月。专利摘要显示，提供了一种等离子体沉积方法和等离子体沉积设备，在所述等离子体沉积方法中，将基底装载还有呢？
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jin rong jie 2 0 2 4 nian 4 yue 1 1 ri xiao xi ， ju guo jia zhi shi chan quan ju gong gao ， san xing dian zi zhu shi hui she qu de yi xiang ming wei “ deng li zi ti chen ji fang fa he deng li zi ti chen ji she bei “ shou quan gong gao hao C N 1 1 0 8 8 0 4 4 7 B , shen qing ri qi wei 2 0 1 9 nian 6 yue 。 zhuan li zhai yao xian shi ， ti gong le yi zhong deng li zi ti chen ji fang fa he deng li zi ti chen ji she bei ， zai suo shu deng li zi ti chen ji fang fa zhong ， jiang ji di zhuang zai hai you ne ？
供应等离子体反应气体。导光通道包括：入射部分，接收入射光；等离子体反应部分，在第一方向上从入射部分延伸，以由于入射光与等离子体反应气体之间的相互作用而产生EUV光；以及发射部分，在第一方向上从等离子体反应部分延伸，以在第一方向上发射EUV光。气体供应通道可以在气体还有呢？
证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司(688012)新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆温度控制器及系统、方法和等离子体处理装置”，专利申请号为CN201911377075.0,授权日为2024年4月9日。专利摘要：本发明适用于半导体技术领域，公开了晶圆温度控制器、晶圆温度控制系好了吧！
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金融界2024年4月8日消息，据国家知识产权局公告，三星电子株式会社取得一项名为“形成石墨烯的方法“授权公告号CN110970289B,申请日期为2019年9月。专利摘要显示，提供一种形成石墨烯的方法。形成石墨烯的方法包括：当对放置在反应室中的基板施加偏压时用等离子体处理基板神经网络。
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金融界2024年4月5日消息，据国家知识产权局公告，沪士电子股份有限公司申请一项名为“一种等离子除胶监控速率片、制作及使用方法“公开号CN117835555A,申请日期为2023年11月。专利摘要显示，本发明公开了一种等离子除胶监控速率片、制作及使用方法，属于PCB板技术领域。..
证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司(688012)新获得一项发明专利授权，专利名为“等离子体处理装置”，专利申请号为CN202010877421.8,授权日为2024年4月5日。专利摘要：本发明公开了一种等离子体处理装置，包括：反应腔；绝缘窗口，位于反应腔的顶部；线圈，位于绝缘窗口上，线好了吧！
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证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司(688012)新获得一项发明专利授权，专利名为“电容式薄膜真空计、等离子体反应装置和膜层制备方法”，专利申请号为CN202010740454.8,授权日为2024年4月5日。专利摘要：本发明涉及半导体加工技术领域，具体公开了一种电容式薄膜真空计好了吧！
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证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司(688012)新获得一项发明专利授权，专利名为“耐腐蚀涂层的镀膜方法及等离子体刻蚀零部件和反应装置”，专利申请号为CN202010548393.5,授权日为2024年4月5日。专利摘要：本发明涉及半导体加工技术领域，具体公开了一种耐腐蚀涂层的镀说完了。
证券之星消息，根据企查查数据显示西山科技(688576)新获得一项实用新型专利授权，专利名为“等离子手术电极”，专利申请号为CN202321642254.4,授权日为2024年4月5日。专利摘要：本申请涉及一种等离子手术电极，一种等离子手术电极包括：手柄，其一端设有注液接口及吸液接口，吸液好了吧！
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